NIKON露光机紫外线灯

i线步进式光刻机NSR-SF155适用于半导体器件的制造。性能：Resolution分辨率≦280nm，NA0.62，Exposure light source曝光光源i-line(365nmwavelength)，Reductionratio缩小倍率1:4Maximumexposurefield，曝光范围26mm×33mm，Overlay重合精度≦25nm，Throughput产出≧200wafers/hour(300mmwafer,76shots),也可用于200mmwafer。采用悬吊投影镜头、减轻震动的“天钩构造”。通过高速运转的晶圆工作台，实现了每小时200片以上300mm晶圆的高产出。●超高产出采用了适于步进式光刻机的新平台“天钩构造”，同时晶圆工作台可高速运转，从而大幅度降低了振动，并实现了高产出。达到了每小时200片以上300mm晶圆的超高产出。高重合精度采用了“天钩构造”与配重物。并重新配置了空调管路，有利于工作室内的散热。实现了25nm以下的重合精度。使用ORC制作所生产的7.5KW超高压汞灯，对应型号：NLi-7500AL2。i线步进式光刻机NSR-SF140,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率7.5KW，型号：NLi-7500AL2。NIKON露光机紫外线灯

小型．軽量なハンティタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した装置を製造現場で管理する目的に適しています。紫外線ランプのUV照射量管理にご使用ください。露光装置の照度と光量の管理が手軽にできる小型・軽量のハンディタイプです。紫外線照度と光量が手軽に測定できます。受光器は、ご使用されている（ご使用予定の）光源とレジスト等の感度にあわせてUV-25，35，42用をご選択いただきます。測定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。アナログ出力も備えています。MERCURY LAMP紫外线灯ONL-5000L高压汞灯能量无限，金属卤素灯照亮你的工业王国。

UV/可視光硬化型接着剤を硬化させるように設定されたUVファイバー装置です。メンテナンス時のランプ交換が非常に簡単です。自動機組み込み用、または手作業用に対応可能です。0～100%まで自由自在な光量調整ができます。全世界フリー電源です。瞬時停電対応プログラム搭載です。UV(紫外線照射)ファイバー装置用ランプです。用途UV/VIS(紫外線/可視光硬化)接着剤の硬化に。UVファイバー HM88、HM66用メンテンスランプ。 仕様放射波長(250nm帯増強タイプ)240～400nm , 質量(g):28, 入力電圧(V):AC100～240、単相47Hz～63Hz 寿命約3000時間(365mm)表面硬化重視の場合はこの限りでありません。 位置ライトガイド接続口/操作パネル面、ランプ交換口/背面 主なワークパーツ

曝光系统重要部件之一是紫外光源。常见光源分为:可见光：g线：436nm紫外光（UV），i线：365nm深紫外光（DUV）,KrF 准分子激光：248 nm, ArF 准分子激光：193 nm极紫外光（EUV），10 ~ 15 nm对光源系统的要求a.有适当的波长。波长越短，可曝光的特征尺寸就越小；[波长越短，就表示光刻的刀锋越锋利，刻蚀对于精度控制要求越高。]b.有足够的能量。能量越大，曝光时间就越短；c.曝光能量必须均匀地分布在曝光区。[一般采用光的均匀度或者叫不均匀度、光的平行度等概念来衡量光是否均匀分布]常用的紫外光光源是高压弧光灯（高压汞灯），高压汞灯有许多尖锐的光谱线，经过滤光后使用其中的g 线（436 nm）或i 线（365 nm）。对于波长更短的深紫外光光源，可以使用准分子激光。例如KrF 准分子激光（248 nm）、ArF 准分子激光（193 nm）和F2准分子激光（157 nm）等。曝光系统的功能主要有：平滑衍射效应、实现均匀照明、滤光和冷光处理、实现强光照明和光强调节等。工业紫外线，超高压汞灯、金属卤素灯，品质与效率并存。

UV硬化システムとは、塗料・接着剤・レジスト材等の樹脂へ、紫外線を照射し、瞬時に硬化・乾燥させる技術です。従来の熱乾燥などと比較すると、硬化・乾燥までにかかる時間が短縮でき、溶剤等の使用量も少量で済むため、使用シーンが広がっています。紫外線を照射し、UV硬化の実験及び少量生産ができます。コンパクトで設置場所を取らず実験室設備に適しています。灯具、電源を分離して軽量化を実現、室内移動が容易です。グリップを取り外せばラインに組み込み可能。紫外线精确制导，半导体工艺的明亮灯塔。EXPOSURE LAMP紫外线灯ONL-5000

i线步进式光刻机NSR-SF150用于半导体器件制造。使用ORC制作所，对应型号：NLi-7500AL2。NIKON露光机紫外线灯

ORC 直流电源,型号：BDE-123ND，功率：12KW；适用于FX-51S，FX-61S,FX-63 TFT黄光曝光设备。

外形尺寸300(宽)×715（高）×600mm（深)

1.入力电源电压：200/208/220VAC±10％（自动切替）相数：3相3线周波数：50/60Hz（自动切替）稳定电流：50A以下突入电流：100A以下端子台番号：TB1端子台番号(CHAMBER侧)：TB649端子台螺丝：M6

2.LAMP输出控制方式：可以定电力控制方式和定照度控制方式切换稳定输出：1200W(定电力时)电压：LAMP点灯初期4分钟限制80±5A以下LAMP点灯4分钟过后，依存LAMP电压，最大电流限制在120A±5A以下端子台番号：TB2端子台螺丝：M8 NIKON露光机紫外线灯